三協電精株式会社

真空バルブ・エントリーハッチドア 型番をクリックして下さい、shopページが別画面で開きます。


オールメタルバリアブ
ルリークバルブ

型番 規格
税込価格
納期
VML14CF34-CF34/CF34 CF34/CF34
198,000
要確認
導入ガス流量調整バルブ
超高真空オールメタル リークバルブ
このオールメタルリークバルブは、導入ガスの流量を調整して真空装置に導入するための高性能バルブです。極めて微小流量領域から安定した調節が可能です。 また、シール部分もメタルで作られているので、450℃までのベーキングが可能です。超高真空装置用に適しています。
・超高真空対応
・耐熱温度:450℃
・目盛り付き
・メタルシール

圧力範囲 1000〜10-9 Pa
リーク量 10-11 Pa・m3/sec(ガス導入圧力が1気圧の場合)
使用温度範囲 -20〜200℃
ベーキング温度 250℃(バルブ閉の場合) 450℃(バルブ開の場合)
接続フランジ CF70(回転)CF34(回転)/ CF34(固定)
シール方法 メタルシール
作動方式 手動(目盛り付き)

KF手動高真空アン
グルバルブ
型番 規格 A B C
税込価格
納期
KF16AV-T KF16 40 60 123
24,200
1週間位
KF25AV-T KF25 50 60 130
25,300
1週間位
KF40AV-T KF40 65 60 164
26,400
1週間位
KF50AV-T KF50 70 60 191
40,700
1週間位
ベローズシール/手動
耐熱温度:100℃

KF圧空高真空ア
ングルバルブ
準備中
写真など資料は
お問合せ下さい
型番 規格 A B C
税込価格
納期
KF16AVA-T KF16 40 52 147
29,700
要確認
KF25AVA-T KF25 50 52 154
34,100
要確認
KF40AVA-T KF40 65 65 176
40,700
要確認
KF50AVA-T KF50 70 67 232
57,200
要確認
ベローズシール/圧空
耐熱温度:100℃

リミットスイッチ/電
磁弁
準備中
写真など資料は
お問合せ下さい

型番
税込価格
納期
SLP110/PIRT
8,800
要確認
AC110V

CF手動超高真空
アングルバルブ
準備中
写真など資料は
お問合せ下さい
型番 規格 A B C
税込価格
納期
CF34AV-TUHV CF34 55 60 139
29,700
1週間位
CF70AV-TUHV CF70 67 60 193
39,600
1週間位
CF114AV-TUHV CF114


68,200
要確認
ベローズシール/手動
ボンネットメタルシール/耐熱温度:200℃

CF手動高真空ア
ングルバルブ
準備中
写真など資料は
お問合せ下さい
型番 規格 A B C
税込価格
納期
CF54AV-T CF54 53 60 133
27,500
要確認
CF85AV-T CF85 78 60 199
47,300
要確認
ベローズシール/手動
ボンネットO-ringシール/耐熱温度:100℃

CF圧空高真空ア
ングルバルブ
準備中
写真など資料は
お問合せ下さい

型番 規格
税込価格
納期
CF34AVA-TUHV CF34
36,300
要確認
CF70AVA-TUHV CF70
48,400
要確認
ベローズシール/圧空
ボンネットメタルシール/耐熱温度:200℃

KF手動インラインバ
ルブ
型番 規格 A B
税込価格
納期
KF16ILV-T KF16 102 100
28,600
要確認
KF25ILV-T KF25 107 97
29,700
要確認
KF40ILV-T KF40 130 123
33,000
要確認
KF50ILV-T KF50 178 152
44,000
要確認
ベローズシール/手動
耐熱温度:100℃

ピューポート付きエ
ントリーハッチ

型番 規格 A B C D
税込価格
納期
QDV-114-CF114 CF114 117 32 114 64
110,000
要確認
QDV-152-CF152 CF152 215 35 152 102
121,000
要確認
QDV-203-CF203 CF203 276 37 202 152
138,600
要確認
QDV-253-CF253 CF254 289 40 253 152
192,500
要確認
ドアシール Viton O-ring
リーク量 1.33 x 10-9 mbar l/s He
使用温度範囲 -20℃〜150℃
ボディー材質 SUS304L
ヒンジ材質 ステンレス及び銅
ビューポート材質 ガラス
取付フランジ CF114〜CF253(スルーホール)
●精密に設計されたヒンジ機構により、確実なシールを実現しました
●ハッチ側からキャップボルトでチャンバーへ取付け可能
●ビューポートが汚れてもO-ringシールなのでガラス交換が可能