オールメタルバリアブ ルリークバルブ |
超高真空オールメタル リークバルブ このオールメタルリークバルブは、導入ガスの流量を調整して真空装置に導入するための高性能バルブです。極めて微小流量領域から安定した調節が可能です。 また、シール部分もメタルで作られているので、450℃までのベーキングが可能です。超高真空装置用に適しています。 ・超高真空対応 ・耐熱温度:450℃ ・目盛り付き ・メタルシール 圧力範囲 1000〜10-9 Pa リーク量 10-11 Pa・m3/sec(ガス導入圧力が1気圧の場合) 使用温度範囲 -20〜200℃ ベーキング温度 250℃(バルブ閉の場合) 450℃(バルブ開の場合) 接続フランジ CF70(回転)CF34(回転)/ CF34(固定) シール方法 メタルシール 作動方式 手動(目盛り付き) |
KF手動高真空アン グルバルブ |
KING LAI社(台湾のメーカーです) http://www.advantorr.com/angle-valves-2
耐熱温度:100℃ |
KF圧空高真空ア ングルバルブ |
KING LAI社(台湾のメーカーです) http://www.advantorr.com/angle-valves-2
耐熱温度:100℃ |
リミットスイッチ/電 磁弁 |
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CF手動超高真空 アングルバルブ |
KING LAI社(台湾のメーカーです) http://www.advantorr.com/angle-valves-2
ボンネットメタルシール/耐熱温度:200℃ |
CF手動高真空ア ングルバルブ |
KING LAI社(台湾のメーカーです) http://www.advantorr.com/angle-valves-2
ボンネットO-ringシール/耐熱温度:100℃ |
CF圧空高真空ア ングルバルブ |
ボンネットメタルシール/耐熱温度:200℃ |
KF手動インラインバ ルブ |
KING LAI社(台湾のメーカーです) http://www.advantorr.com/angle-valves-2
耐熱温度:100℃ |
リリーフバルブ(圧 力逃し弁) |
リリーフ圧:1bar 大気圧〜1×10-6Pa |
ピューポート付きエ ントリーハッチ |
リーク量 1.33 x 10-9 mbar l/s He 使用温度範囲 -20℃〜150℃ ボディー材質 SUS304L ヒンジ材質 ステンレス及び銅 ビューポート材質 ガラス 取付フランジ CF114〜CF253(スルーホール) ●精密に設計されたヒンジ機構により、確実なシールを実現しました ●ハッチ側からキャップボルトでチャンバーへ取付け可能 ●ビューポートが汚れてもO-ringシールなのでガラス交換が可能 |