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| X線源（X-Ray Source）  |
エミッション電源110-230V （XR40B-EC） 高圧電源90-230V（XRHV01-PS） X線源用冷却ユニット（XRCB-01） ケーブル7.5m インターフェイス（RS232/RS485/Ether Net IPから選択可） https://www.prevac.eu/en/2,offer/37,instruments/119,x-ray-source-40b1.html オプション パソコン操作用ソフトウエアー ICF70手動Zステージ ストローク50mm LSM38-50-H ICF70手動Zステージ ストローク100mm LSM38-100-H |
| モノクロメーター（X- ray Source with Monochromator）  |
・XYZマニピュレーター（手動） ・モノクロメーター（1クリスタル、ベーキングユニット） ・エミッションコントローラー 110-230V（XR40E-EC） ・高圧電源 90-230V（XRHV01-PS） ・X線源用冷却ユニット（XRCB02） ・ケーブル 7.5m ・インターフェイス（RS232/RS485/Ether Net IP） https://www.prevac.eu/en/2,offer/37,instruments/332,x-ray-monochromator-rmc50.html オプション ・パソコン操作用ソフトウエアー |
| 紫外線源（UV Source）  |
電源110-230V（UV40A-PS） ケーブル7.5m インターフェイス（RS232/485+Ether Net IP） https://www.prevac.eu/en/2,offer/37,instruments/120,uv-source-40a2.html オプション パソコン操作用ソフトウエアー 真空計用ボード ICF70手動Zステージ ストローク50mm LSM38-50-H ICF70手動Zステージ ストローク100mm LSM38-100-H バリアブルリークバルブ |
| 走査型イオン銃 （Ion Source）  |
電源110-230V（IS40E-PS） ケーブル7.5m インターフェイス（RS232/485+Ether Net IP） https://www.prevac.eu/en/2,offer/37,instruments/121,ion-source-40e1.html オプション パソコン操作用ソフトウエアー ICF70手動Zステージ ストローク50mm LSM38-50-H ICF70手動Zステージ ストローク100mm LSM38-100-H バリアブルリークバルブ |
| 簡易型イオン銃 （Ion Source）  |
電源110-230V（IS40C-PS） ケーブル7.5m インターフェイス（RS232/485+Ether Net IP） https://www.prevac.eu/en/2,offer/37,instruments/122,ion-source-40c1.html オプション パソコン操作用ソフトウエアー ICF70手動Zステージ ストローク50mm LSM38-50-H ICF70手動Zステージ ストローク100mm LSM38-100-H バリアブルリークバルブ |
| 走査型電子銃 （Electron source）  |
電源110-230V（ES40C-PS） ケーブル7.5m インターフェイス（RS232/485+Ether Net IP） https://www.prevac.eu/en/2,offer/37,instruments/123,electron-source-40c1.html オプション パソコン操作用ソフトウエアー ICF70手動Zステージ ストローク50mm LSM38-50-H ICF70手動Zステージ ストローク100mm LSM38-100-H |
| 帯電防止用電子 銃（Flood source）  |
電源110-230V（FS40A-PS） ケーブル7.5m インターフェイス（RS232/RS485/Ether Net IPから選択可） https://www.prevac.eu/en/2,offer/37,instruments/124,flood-source-40a1.html オプション パソコン操作用ソフトウエアー ICF70手動Zステージ ストローク50mm LSM38-50-H ICF70手動Zステージ ストローク100mm LSM38-100-H |
| ミニ電子ビーム蒸 着源（Electron Beam Evaporator）  |
電源110V（EBV40A-PS） ケーブル7.5m インターフェイス（RS232/485/Ether Net IPから選択可） https://www.prevac.eu/en/2,offer/37,instruments/125,electron-beam-evaporator-ebv-40a1.html オプション Wクルーシブル+Al2O3ライナー（0.07ml） Moクルーシブル+PBNライナー（0.07ml） パソコン操作用ソフトウエアー ICF70手動Zステージ ストローク50mm LSM38-50-H ICF70手動Zステージ ストローク100mm LSM38-100-H |
| 蒸発セル（Effusion cell）  |
蒸発セル本体（EF40C1）（ソース長：260mm・280mm・310mm・380mmその他のソース長はお問合せ下さい） 電源110-230V（HEAT3-PS RES） ケーブル7.5m アルミナルツボ Cタイプ熱電対 インターフェイス（RS232/485+Ether Net IP） https://www.prevac.eu/en/2,offer/37,instruments/126,effusion-cell-ef-40c1.html オプション アルミナルツボ（Al2O3） PBNルツボ（PBN） 石英ルツボ（Quarts） パソコン操作用ソフトウエアー 真空計用ボード ICF70手動Zステージ ストローク50mm LSM38-50-H ICF70手動Zステージ ストローク100mm LSM38-100-H |
| 試料搬送ユニット （Transport BOX）  |
TRB3FION ・Flag Styleサンプルホルダー（3個）収納可能 ・ICF70ゲートバルブ ・ウォーブルスティック（120mmストローク） ・3l/sイオンポンプ（電源付き） https://www.prevac.eu/en/2,offer/35,vacuum-chambers/20,transport-box-for-vacuum-chamber.html TRB3FGET ・Flag Styleサンプルホルダー（3個）収納可能 ・ICF70ゲートバルブ ・ウォーブルスティック（120mmストローク） ・ゲッターポンプD200-5（電源付き） https://www.prevac.eu/en/2,offer/35,vacuum-chambers/20,transport-box-for-vacuum-chamber.html |
| チャンバー照射用 LEDライトシステム VCH-10セット （USBタイプ）   |
パルス電源 1台 コントローラー（ON/OFF） 1個 LEDライトM6用（ICF70用） 5個 LEDライトM8用（ICF114〜253用） 5個 https://www.prevac.eu/en/2,offer/45,vacuum-chamber-highlight/168,vacuum-chamber-highlight-vch-10.html 単品価格 電源/コントローラーVCH-10 LEDライトM6用（ICF70用・穴径φ12・USBケーブル長5m）VCH-M6USB LEDライトM8用（ICF114〜253用・穴径φ16・USBケーブル長5m）VCH-M8USB ソフトウエアー VCH-10（ジャックタイプ） LEDライトM6用（ICF70用）VCH-M6 LEDライトM8用（ICF114〜253用）VCH-M8 |
| 蒸着用成膜コント ローラー    |
https://www.prevac.eu/en/2,offer/42,measurement-controllers/196,thickness-monitor-tm13-tm14.html オプション ソフトウエアー ICF70付きクリスタルセンサー ICF70付きクリスタルセンサー（ベーカブル） |
| マルチ真空ゲージコ ントローラー  |
MG15- 各ゲージ球へのケーブル及び変換コネクタは別途オプション |
| 多機能スパッタリン グ用DC電源ユニッ ト  |
SHV-Nタイプケーブル7.5m |
| チタンサブリメーショ ンポンプ   |
https://www.prevac.eu/en/2,offer/162,accessories/338,titanium-sublimation-pump.html |
| サンプル加熱用多 機能ヒーター電源  |
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