三協電精株式会社

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X線源(X-Ray 
Source)

型番
税込価格
納期
RS40B1
5,203,000
要確認
X線源本体 保護シールド付(RS40B1) (ソース長:285mm)
エミッション電源110-230V (XR40B-EC)
高圧電源90-230V(XRHV01-PS)
X線源用冷却ユニット(XRCB-01)
ケーブル7.5m
インターフェイス(RS232/RS485/Ether Net IPから選択可)

https://www.prevac.eu/en/2,offer/37,instruments/119,x-ray-source-40b1.html

オプション
パソコン操作用ソフトウエアー 49,500円
ICF70手動Zステージ ストローク50mm LSM38-50-H 366,300円
ICF70手動Zステージ ストローク100mm LSM38-100-H 438,900円

モノクロメーター(X-
ray Source with
Monochromator)

型番
税込価格
納期
RMC50
21,945,000
要確認
・X線源本体 Dual Anode Al/Ag,2×AL,2×Ag
・XYZマニピュレーター(手動)
・モノクロメーター(1クリスタル、ベーキングユニット)
・エミッションコントローラー 110-230V(XR40E-EC)
・高圧電源 90-230V(XRHV01-PS)
・X線源用冷却ユニット(XRCB02)
・ケーブル 7.5m
・インターフェイス(RS232/RS485/Ether Net IP)

https://www.prevac.eu/en/2,offer/37,instruments/332,x-ray-monochromator-rmc50.html

オプション
・パソコン操作用ソフトウエアー 49,500円

紫外線源(UV 
Source)

型番
税込価格
納期
UVS40A2
2,860,000
要確認
紫外線源本体(UVS40A2)(ソース長:220mm・270mm・320mmその他のソース長はお問合せ下さい)
電源110-230V(UV40A-PS)
ケーブル7.5m
インターフェイス(RS232/485+Ether Net IP)

https://www.prevac.eu/en/2,offer/37,instruments/120,uv-source-40a2.html

オプション
パソコン操作用ソフトウエアー 49,500円
真空計用ボード 63,800円
ICF70手動Zステージ ストローク50mm LSM38-50-H 366,300円
ICF70手動Zステージ ストローク100mm LSM38-100-H 438,900円
バリアブルリークバルブ 198,000円

走査型イオン銃
(Ion Source)

型番
税込価格
納期
IS40E1
4,444,000
要確認
イオン銃本体(IS40E1)(ソース長:163mm)
電源110-230V(IS40E-PS)
ケーブル7.5m
インターフェイス(RS232/485+Ether Net IP)

https://www.prevac.eu/en/2,offer/37,instruments/121,ion-source-40e1.html

オプション
パソコン操作用ソフトウエアー 49,500円
ICF70手動Zステージ ストローク50mm LSM38-50-H 366,300円
ICF70手動Zステージ ストローク100mm LSM38-100-H 438,900円
バリアブルリークバルブ 198,000円

簡易型イオン銃
(Ion Source)

型番
税込価格
納期
IS40C1
1,716,000
要確認
イオン銃本体(IS40C1)(ソース長:62.5mm〜386.5mmでご指定可能)
電源110-230V(IS40C-PS)
ケーブル7.5m
インターフェイス(RS232/485+Ether Net IP)

https://www.prevac.eu/en/2,offer/37,instruments/122,ion-source-40c1.html

オプション
パソコン操作用ソフトウエアー 49,500円
ICF70手動Zステージ ストローク50mm LSM38-50-H 366,300円
ICF70手動Zステージ ストローク100mm LSM38-100-H 438,900円
バリアブルリークバルブ 198,000円

走査型電子銃
(Electron 
source)

型番
税込価格
納期
ES40C1
2,794,000
要確認
電子銃本体(ES40C1)(銅もしくはミューメタルシールド付 ソース長:156mm・206mmその他のソース長はお問合せ下さい)
電源110-230V(ES40C-PS)
ケーブル7.5m
インターフェイス(RS232/485+Ether Net IP)

https://www.prevac.eu/en/2,offer/37,instruments/123,electron-source-40c1.html

オプション
パソコン操作用ソフトウエアー 49,500円
ICF70手動Zステージ ストローク50mm LSM38-50-H 366,300円
ICF70手動Zステージ ストローク100mm LSM38-100-H 438,900円

帯電防止用電子
銃(Flood 
source)

型番
税込価格
納期
FS40C1
1,672,000
要確認
電子銃本体(FS40A1)(銅もしくはミューメタルシールド付 ソース長:145mm・180mm・213mm・275mm・421mmその他のソース長はお問合せ下さい)
電源110-230V(FS40A-PS)
ケーブル7.5m
インターフェイス(RS232/RS485/Ether Net IPから選択可)

https://www.prevac.eu/en/2,offer/37,instruments/124,flood-source-40a1.html

オプション
パソコン操作用ソフトウエアー 49,500円
ICF70手動Zステージ ストローク50mm LSM38-50-H 366,300円
ICF70手動Zステージ ストローク100mm LSM38-100-H 438,900円

ミニ電子ビーム蒸
着源(Electron 
Beam 
Evaporator)

型番
税込価格
納期
EBV40A1
3,311,000
要確認
電子銃本体(EBV40A1)(ソース長:190mm〜345mmでご指定可能)
電源110V(EBV40A-PS)
ケーブル7.5m
インターフェイス(RS232/485/Ether Net IPから選択可)

https://www.prevac.eu/en/2,offer/37,instruments/125,electron-beam-evaporator-ebv-40a1.html

オプション
Wクルーシブル+Al2O3ライナー(0.07ml) 66,000円
Moクルーシブル+PBNライナー(0.07ml) 57,200円
パソコン操作用ソフトウエアー 49,500円
ICF70手動Zステージ ストローク50mm LSM38-50-H 366,300円
ICF70手動Zステージ ストローク100mm LSM38-100-H 438,900円

蒸発セル(Effusion
 cell)

型番
税込価格
納期
EF40C1
1,903,000
要確認
最高温度:1600℃

蒸発セル本体(EF40C1)(ソース長:260mm・280mm・310mm・380mmその他のソース長はお問合せ下さい)
電源110-230V(HEAT3-PS RES)
ケーブル7.5m
アルミナルツボ
Cタイプ熱電対
インターフェイス(RS232/485+Ether Net IP)

https://www.prevac.eu/en/2,offer/37,instruments/126,effusion-cell-ef-40c1.html

オプション
アルミナルツボ(Al2O3) 73,700円
PBNルツボ(PBN) 161,700円
石英ルツボ(Quarts) 25,300円
パソコン操作用ソフトウエアー 74,800円
真空計用ボード 62,700円
ICF70手動Zステージ ストローク50mm LSM38-50-H 366,300円
ICF70手動Zステージ ストローク100mm LSM38-100-H 438,900円

試料搬送ユニット
(Transport 
BOX)

型番
税込価格
納期
TRB3FION 3,333,000 要確認
TRB3FGET
5,060,000
要確認

TRB3FION
・Flag Styleサンプルホルダー(3個)収納可能
・ICF70ゲートバルブ
・ウォーブルスティック(120mmストローク)
・3l/sイオンポンプ(電源付き)
https://www.prevac.eu/en/2,offer/35,vacuum-chambers/20,transport-box-for-vacuum-chamber.html

TRB3FGET
・Flag Styleサンプルホルダー(3個)収納可能
・ICF70ゲートバルブ
・ウォーブルスティック(120mmストローク)
・ゲッターポンプD200-5(電源付き)
https://www.prevac.eu/en/2,offer/35,vacuum-chambers/20,transport-box-for-vacuum-chamber.html

チャンバー照射用
LEDライトシステム
VCH-10セット
(USBタイプ)


型番
税込価格
納期
VCH-10SET-USB
220,000
要確認
セット内容
パルス電源 1台
コントローラー(ON/OFF) 1個
LEDライトM6用(ICF70用) 5個
LEDライトM8用(ICF114〜253用) 5個

https://www.prevac.eu/en/2,offer/45,vacuum-chamber-highlight/168,vacuum-chamber-highlight-vch-10.html

単品価格
電源/コントローラーVCH-10 132,000円
LEDライトM6用(ICF70用・穴径φ12・USBケーブル長5m)VCH-M6USB 8,580円
LEDライトM8用(ICF114〜253用・穴径φ16・USBケーブル長5m)VCH-M8USB 10,560円
ソフトウエアー 13,200円

VCH-10(ジャックタイプ)
LEDライトM6用(ICF70用)VCH-M6 15,730円
LEDライトM8用(ICF114〜253用)VCH-M8 18,260円

蒸着用成膜コント
ローラー




型番 セット内容
税込価格
納期
TM-13SET コントローラー本体TMC-13
オシレーターTM-13(0.1Hz)
ケーブル3m
363,000
要確認
TM-14SET コントローラー本体TMC-13
オシレーターTM-14(0.01Hz)
ケーブル3m
440,000
要確認
https://www.prevac.eu/en/2,offer/42,measurement-controllers/81,tmc-13.html
https://www.prevac.eu/en/2,offer/42,measurement-controllers/196,thickness-monitor-tm13-tm14.html

オプション
ソフトウエアー 49,500円
ICF70付きクリスタルセンサー 228,800円
ICF70付きクリスタルセンサー(ベーカブル) 267,300円

マルチ真空ゲージコ
ントローラー

型番
税込価格
納期
MG15-1x 1x BA/Extractor 4x アクティブゲージ
495,000
要確認
MG15-2x 2x BA/Extractor 4x アクティブゲージ
671,000
要確認
https://www.prevac.eu/en/2,offer/42,measurement-controllers/331,ion-multi-gauge-controller-mg15.html

MG15- 各ゲージ球へのケーブル及び変換コネクタは別途オプション

多機能スパッタリン
グ用DC電源ユニッ


型番
税込価格
納期
M600DC-PS-600W 600W
726,000
要確認
M600DC-PS-1200W 1200W
1,111,000
要確認
M600DC-PS-1800W 1800W
1,496,000
要確認
M600DC-PS-2400W 2400W
1,881,000
要確認
https://www.prevac.eu/en/2,offer/39,power-supplies-heating-controllers/431,magnetron-power-supply-m600dc-ps.html

SHV-Nタイプケーブル7.5m 39,600円

チタンサブリメーショ
ンポンプ


型番
税込価格
納期
TSP03-PS 電源 7.5mケーブル付
528,000
要確認
TSP 本体 ICF70 160mm
473,000
要確認
LN2 シールド ICF203
253,000
要確認
https://www.prevac.eu/en/2,offer/39,power-supplies-heating-controllers/84,titanium-sublimation-pump-power-supplies.html
https://www.prevac.eu/en/2,offer/162,accessories/338,titanium-sublimation-pump.html

サンプル加熱用多
機能ヒーター電源

型番
税込価格
納期
HEAT3-PS-1x 1x 抵抗加熱電源
561,000
要確認
HEAT3-PS-2x 2x 抵抗加熱電源
902,000
要確認
HEAT3-PS-1x/1xEB 1x 抵抗加熱電源 / 1xEB 加熱電源
968,000
要確認
https://www.prevac.eu/en/2,offer/39,power-supplies-heating-controllers/76,heat-3-ps.html