三協電精株式会社

真空コンポーネント検索


KF規格製品
ISO規格製品
CF(ICF)規格製品


KF(Klein Flange)規格(NWフランジ)
真空分野での低真空から高真空領域で使用されている配管・継手部品から構成されます。
同じサイズのフランジ間に封止するためのOリングをつけてクランプで締め付けることで真空を保つことができます。

ISO規格
1. クロー締めタイプ(ツメ状の形をしており上下からフランジを挟んで締めるタイプ)
2. ボルト締めタイプ(ボルト/ナットで構成され上下から締めこむタイプ)
耐真空度は1×10-6Pa、耐ベーキング温度は200℃まで使用可能です。

CF(Conflat Flange)規格(ICFフランジ)
真空側に彫られた尖ったミゾ(ナイフエッジ)に無酸素銅ガスケットを入れて相手のフランジと挟み込みボルトでフランジを締め込むことにより高い真空度を保つことができます。
耐真空度は1×10-10Pa、耐ベーキング温度は最大450℃まで可能です。

VG/VF フランジ
UHV-Design社製
PREVAC社製
準備中
写真など資料は
お問合せ下さい

VF(ミゾなし)・VG(ミゾつき)フランジはJIS規格B2290に準拠した、低真空から高真空での真空技術を要する装置部や配管部を構成します。VGフランジに規格のOリングをつけて相手方のVFフランジと合わせ、ボルトで締めることにより真空を保つことができます。
フランジ材質はSUS304を標準としております。
なお、VGフランジ用のバイトンOリングも取り扱っております。

Rotary

Linear

Transfer

UV Source

Ion Source

X-Ray Source

真空バルブ・エントリーハッチドア
VACOM社製
真空コンポーネント




Angle Valve

Quick Access Door

In-Line Valve

Vacfix

UHV FOIL

VACSEAL

LED Light
Silver Paste